Описание
Программа «Обучение „Ретушер прецизионной фотолитографии“»
Цель программы
Подготовить квалифицированных ретушеров прецизионной фотолитографии, способных выполнять высокоточную коррекцию фотошаблонов и масок для микроэлектронного производства в соответствии с отраслевыми стандартами и техническими требованиями.
Задачи программы
1. Освоить теоретические основы фотолитографии и роль ретушера в технологическом цикле.
2. Изучить оборудование, материалы и инструменты, применяемые в прецизионной ретуши.
3. Овладеть методиками выявления и устранения дефектов фотошаблонов.
4. Научиться работать с контрольно-измерительной аппаратурой и программным обеспечением для анализа изображений.
5. Сформировать навыки соблюдения норм технологической дисциплины, охраны труда и экологической безопасности.
6. Приобрести практический опыт ретуши в условиях, приближенных к реальному производству.
Знания, которые получит слушатель
— Основы физики и химии фотолитографических процессов.
— Конструкция и принцип работы фотошаблонов, масок и их назначение в микроэлектронике.
— Типовые дефекты фотошаблонов (царапины, точки, разрывы, замутнения и др.) и причины их возникновения.
— Методы и критерии контроля качества фотошаблонов (оптическая микроскопия, автоматизированные системы анализа).
— Технологические нормативы и допуски для различных классов точности.
— Устройство и правила эксплуатации ретушерского оборудования (микроскопы, лазерные системы, микроинструменты и т. п.).
— Программное обеспечение для цифрового анализа и коррекции изображений.
— Требования к чистоте помещений (класс чистоты, спецодежда, антистатическая защита).
— Правила охраны труда, пожарной безопасности и экологической безопасности в «чистых комнатах».
— Документация процесса ретуши (журналы учета, отчеты, паспорта изделий).